對(duì)XD系列真空(kōng)泵的介紹(shao)

XD系(xì)列真空泵(bèng) 是指該泵(bèng)可在常壓(ya)下啓動抽(chōu)氣，并可将(jiāng)抽吸的氣(qì)體直接排(pái)放👌到大氣(qì)中。泵腔内(nèi)無油或其(qí)他工作介(jie)質，壓力等(děng)于或接近(jin)油封真空(kōng)泵的機械(xie)真空泵。

截(jie)至 2013年，真空(kōng)行業使用(yòng)的機械真(zhen)空泵大多(duō)采用油、水(shuǐ)或其他聚(jù)⭐合物等流(liú)體作爲泵(beng)的工作介(jiè)質，在泵内(nei)具有冷卻(que)、密封、潤滑(hua)等多重功(gong)能。随着科(kē)學技術的(de)發展和真(zhēn)空應用領(ling)域的擴大(dà)，原✍️有的機(ji)械真空泵(bèng)及其排氣(qi)系統有兩(liǎng)個迫切需(xu)要✨解決的(de)問題：一是(shi)泵㊙️的工作(zuò)介質倒流(liu)，污染被抽(chōu)容器，而這(zhe)種回流在(zài)很✂️多情況(kuang)下會☀️影響(xiǎng)産品的質(zhì)量和數量(liang)，增加設❓備(bei)的維護成(chéng)本。其次，真(zhen)空泵中的(de)介質由于(yu)某些過程(cheng)中的反應(ying)物而嚴重(zhong)變質，使泵(bèng)無法正常(cháng)工作。

對于(yu)普通的無(wú)油真空系(xì)統，雖然可(kě)以使用油(yóu)封真空泵(beng)和冷阱㊙️或(huo)吸附阱等(deng)附件來防(fáng)止回流，但(dàn)不能完全(quán)解決問題(ti)，使系統複(fú)雜。使用合(he)适類型的(de) XD系列真空(kōng)泵 可以達(dá)到預期的(de)效果。

XD系列(lie)真空泵 應(yīng)用廣泛，主(zhu)要表現在(zài)以下幾個(ge)方面：

1、低壓化學(xue)氣相沉積(jī)多晶矽制(zhì)備工藝；

2、半導體(tǐ)蝕刻工藝(yi)。 XD系列真空(kōng)泵 在這些(xiē)生産過程(chéng)中經常使(shi)用或産生(sheng)腐蝕性氣(qì)體和磨料(liào)顆粒；

3、對于除半(ban)導體工藝(yì)外的一些(xie)會産生顆(ke)粒的工藝(yi)，預計顆❄️粒(li)不會混入(ru) XD系列真空(kōng)泵 的泵油(yóu)中，預計顆(ke)粒會從泵(bèng)中排出，某(mou)種類型的(de)幹式機械(xie)真空泵可(ke)以滿足要(yao)求；

4、在(zài)化工、醫藥(yào)、食品行業(yè)的蒸餾、幹(gàn)燥、脫氣、包(bao)裝等過程(chéng)中，應防止(zhi)有機溶劑(jì)造成污染(rǎn)，宜選用 XD系(xi)列真空泵(bèng) ；

5、 XD系列(lie)真空泵 用(yòng)作一般無(wú)油清潔真(zhen)空系統的(de)前級泵，防(fang)止油污。