XD系(xì)列真空泵(bèng) 是指該泵(bèng)可在常壓(ya)下啓動抽(chōu)氣,并可将(jiāng)抽吸的氣(qì)體直接排(pái)放👌到大氣(qì)中。泵腔内(nèi)無油或其(qí)他工作介(jie)質,壓力等(děng)于或接近(jin)油封真空(kōng)泵的機械(xie)真空泵。
XD系列真空(kōng)泵
XD系列(lie)真空泵 應(yīng)用廣泛,主(zhu)要表現在(zài)以下幾個(ge)方面:
1、低壓化學(xue)氣相沉積(jī)多晶矽制(zhì)備工藝;
2、半導體(tǐ)蝕刻工藝(yi)。 XD系列真空(kōng)泵 在這些(xiē)生産過程(chéng)中經常使(shi)用或産生(sheng)腐蝕性氣(qì)體和磨料(liào)顆粒;
4、在(zài)化工、醫藥(yào)、食品行業(yè)的蒸餾、幹(gàn)燥、脫氣、包(bao)裝等過程(chéng)中,應防止(zhi)有機溶劑(jì)造成污染(rǎn),宜選用 ;
5、 用(yòng)作一般無(wú)油清潔真(zhen)空系統的(de)前級泵,防(fang)止油污。